手動(dòng)探針臺(tái)的工作原理
手動(dòng)探針臺(tái)用途:
手動(dòng)探針臺(tái)的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座,配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測(cè)試等用途。
手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式:
1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。
4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。
5.待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,最后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。
6.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以通過連接的測(cè)試設(shè)備開始測(cè)試。
手動(dòng)探針臺(tái)常見故障的排除
當(dāng)您使用本儀器時(shí),可能會(huì)碰到一些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。
癥狀 |
可能原因 |
解決方法 |
移動(dòng)樣品后畫面變模糊 |
顯微鏡不垂直 |
調(diào)垂直顯微鏡 |
樣品臺(tái)不水平 |
調(diào)水平樣品臺(tái) |
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樣品不平 |
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顯微鏡視場(chǎng)亮度不足,邊緣切割或看不到像 |
轉(zhuǎn)換器不在定位位置上 |
把轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)到定位位置上 |
管鏡轉(zhuǎn)盤不在定位位置上 |
把管鏡轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)到定位位置上 |
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照明的亮度不足 |
調(diào)節(jié)光源亮度或者把孔徑光欄孔調(diào)大 |
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沒有裝目鏡 |
裝上目鏡 |
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沒有裝物鏡 |
裝上物鏡 |
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顯微鏡像質(zhì)變差 |
目鏡臟 物鏡臟 管鏡臟 |
對(duì)目鏡,物鏡,管鏡臟的地方進(jìn)行清潔 |
孔徑光欄關(guān)的太大或者太小 |
調(diào)節(jié)孔徑光欄 |
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沒有調(diào)好焦 |
調(diào)節(jié)調(diào)焦手輪 |
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樣本上蓋有蓋玻片等介質(zhì) |
移開蓋玻片等介質(zhì) |
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圖像一邊清晰,一邊模糊 |
樣本傾斜放置 |
放平樣本,或者調(diào)節(jié)樣品臺(tái)水平 |
物鏡沒有旋緊 |
旋緊物鏡 |
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眼睛容易疲勞 |
雙目頭的瞳距和操作者不匹配 |
調(diào)節(jié)雙目頭的瞳距 |
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目鏡視度調(diào)節(jié)不正確 |
調(diào)節(jié)目鏡視度 |
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照明亮度不合適 |
調(diào)節(jié)光源亮度或者孔徑光欄孔 |
手動(dòng)探針臺(tái)維護(hù)和保養(yǎng)
1. 避免碰撞:在安裝,操作CS探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞,機(jī)體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。
2.儀器的運(yùn)輸:儀器運(yùn)輸時(shí),請(qǐng)先拔掉電源線插頭。
儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。
3.儀器的存放
使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機(jī)械精密部件,光學(xué)部件,電學(xué)接觸面污染,導(dǎo)致儀器精度降低。
探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí),避免直接潑水清理,以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器,以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。
探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí),可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時(shí)易燃物,注意使用安全。
停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí),請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命。
操作人員必須嚴(yán)格按要求操作,以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。
4.工作環(huán)境
探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上,最好是具有防震裝置的工作臺(tái)上,避免在高溫,潮濕激烈震動(dòng),陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。
使用最佳溫度范圍為5℃~40℃,最佳濕度是40%到85%,空氣中之濕度若低于30%以下,可靠濕度控制器予以控制,使維持50%~60%之范圍。使用時(shí)門窗盡可能關(guān)閉,使室內(nèi)達(dá)到除濕效果。
使用電源:220±10%,50~60Hz
2016-05-13
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