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手動(dòng)探針臺(tái)的工作原理
2018-06-054960

手動(dòng)探針臺(tái)的工作原理


 手動(dòng)探針臺(tái)用途:

        手動(dòng)探針臺(tái)的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座,配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測(cè)試等用途。


手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式:                                                          

1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。

2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。

3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。

4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。

5.待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,最后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。

6.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以通過連接的測(cè)試設(shè)備開始測(cè)試。

手動(dòng)探針臺(tái)


手動(dòng)探針臺(tái)常見故障的排除                                                        

      當(dāng)您使用本儀器時(shí),可能會(huì)碰到一些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。

 

癥狀

可能原因

解決方法

移動(dòng)樣品后畫面變模糊

顯微鏡不垂直

調(diào)垂直顯微鏡

樣品臺(tái)不水平

調(diào)水平樣品臺(tái)

樣品不平

 

顯微鏡視場(chǎng)亮度不足,邊緣切割或看不到像

轉(zhuǎn)換器不在定位位置上

把轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)到定位位置上

管鏡轉(zhuǎn)盤不在定位位置上

把管鏡轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)到定位位置上

照明的亮度不足

調(diào)節(jié)光源亮度或者把孔徑光欄孔調(diào)大

沒有裝目鏡

裝上目鏡

沒有裝物鏡

裝上物鏡

顯微鏡像質(zhì)變差

目鏡臟

物鏡臟

管鏡臟

對(duì)目鏡,物鏡,管鏡臟的地方進(jìn)行清潔

孔徑光欄關(guān)的太大或者太小

調(diào)節(jié)孔徑光欄

沒有調(diào)好焦

調(diào)節(jié)調(diào)焦手輪

樣本上蓋有蓋玻片等介質(zhì)

移開蓋玻片等介質(zhì)

圖像一邊清晰,一邊模糊

樣本傾斜放置

放平樣本,或者調(diào)節(jié)樣品臺(tái)水平

物鏡沒有旋緊

旋緊物鏡

眼睛容易疲勞

雙目頭的瞳距和操作者不匹配

調(diào)節(jié)雙目頭的瞳距

 

目鏡視度調(diào)節(jié)不正確

調(diào)節(jié)目鏡視度

 

照明亮度不合適

調(diào)節(jié)光源亮度或者孔徑光欄孔



手動(dòng)探針臺(tái)維護(hù)和保養(yǎng)                                                                      
 
    1. 避免碰撞:在安裝,操作CS探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞,機(jī)體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。
 
    2.儀器的運(yùn)輸:儀器運(yùn)輸時(shí),請(qǐng)先拔掉電源線插頭。
                          儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。
 
 
    3.儀器的存放
       使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機(jī)械精密部件,光學(xué)部件,電學(xué)接觸面污染,導(dǎo)致儀器精度降低。

      探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí),避免直接潑水清理,以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器,以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。
      探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí),可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時(shí)易燃物,注意使用安全。
      停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí),請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命。
      操作人員必須嚴(yán)格按要求操作,以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。
 
 
   4.工作環(huán)境                                                                
     探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上,最好是具有防震裝置的工作臺(tái)上,避免在高溫,潮濕激烈震動(dòng),陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。
    使用最佳溫度范圍為5℃~40℃,最佳濕度是40%到85%,空氣中之濕度若低于30%以下,可靠濕度控制器予以控制,使維持50%~60%之范圍。使用時(shí)門窗盡可能關(guān)閉,使室內(nèi)達(dá)到除濕效果。
    使用電源:220±10%,50~60Hz

手動(dòng)探針臺(tái)

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