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CS-4和CS-6探針臺(tái)的技術(shù)參數(shù)比較如下：

CS-4探針臺(tái)：

· Chuck尺寸：4英寸

· 水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

· XY移動(dòng)行程：4英寸*4英寸

· X-Y移動(dòng)精度：10um

· 樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié)：可升降8mm

· 樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

· 針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，最多可放置6個(gè)探針座

· 背電極測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

· 顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡

· 放大倍率：16X-100X

· 移動(dòng)行程：水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm

· 光源：外置LED無(wú)極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源

· CCD：200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素

· XY-Z移動(dòng)行程：12mm12mm12mm

· 移動(dòng)精度：10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um

· 吸附方式：磁力吸附/真空吸附

· 線纜類型：同軸線/三軸線/射頻線

· 漏電精度：10pA/100fA/10fA

· 固定探針?lè)绞剑簭椈晒潭?/span>/管狀固定

· 接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口

· DC針尖直徑：0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um

· RF探針頻率：40GHz/50GHz/67GHz/110GHz

· 材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅/鍍鎳

· 外形尺寸：400mm長(zhǎng)400mm寬500mm高

· 重量：約25千克

· 可選附件包括加熱臺(tái)、屏蔽箱、顯示器、防震桌、轉(zhuǎn)接頭、鍍金卡盤、射頻測(cè)試配件和光電測(cè)試配件等。

CS-6探針臺(tái)：

· Chuck尺寸：6英寸

· 水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

· XY移動(dòng)行程：4英寸*4英寸

· X-Y移動(dòng)精度：10um

· 樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié)：可升降8mm

· 樣品固定方式：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

· 針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，最多可放置6個(gè)探針座

· 背電極測(cè)試方式：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

· 顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡